技术参数:
功能方式:DC或RF;
波长范围:120-800nm;
光谱分辨率:18pm-25pm;
深度分辨率:1~2nm;
溅射速率:>1μm/min;
深度剖析的范围:1nm~200μm;
焦距:998.8mm
元素通道:48
探测器:光电倍增管PMT
性能特点:
有着较低的检出限。
能够逐层检测样品表面。
十几个元素的含量通过一次监测就能够得到,能够给出较大的信息量。
只需几分钟就能够对一个样品,有着非常快的检测速度。
不需要对样品进行稀释,溶解等处理,能够直接对固体样品进行检测。
有非常广泛的检测范围。
光机电产品一体化整机设计。